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真空核心零部件

APC自動控壓蝶閥
自動壓力調節蝶閥應用于真空腔室壓力調節或真空隔斷。閥板作為調節元件，不同的角度位置改變閥門通徑中氣體流導的大小，實現泵有效抽速的調節。自動壓力調節蝶閥根據客戶腔體容積、流量等參數，通過特殊算法，建立壓力控制參數。用戶輸入工藝壓力，自動壓力調節蝶閥根據內部算法調整閥板位置，快速實現工藝壓力的動態平衡。

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