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工藝過程裝備

多工位檢漏系統(tǒng)
對元器件內部抽真空后在外表面噴氦氣，并通過連接的氦質譜檢漏儀，對元器件進行檢漏。

性能指標

多工位檢漏系統(tǒng) 性能指標.png

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